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硅片多线切割技能详解

来源:http://www.gutancorp.com 责任编辑:ag88环亚娱乐 2019-03-28 09:15

  硅片多线切割技能详解

  硅片是半导体和光伏范畴的首要出产资料。硅片多线切开技能是现在世界上比较先进的硅片加工技能,它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切开方法,也不同于先进的激光切开和内圆切开,它的原理是经过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切开刃料对硅棒进行冲突,然后到达切开效果。在整个进程中,钢线经过十几个导线轮的引导,在主线辊上构成一张线网,而待加工工件经过工作台的下降完结工件的进给。硅片多线切开技能与其他技能比较有:效率高,产能高,精度高级长处。是现在选用最广泛的硅片切开技能。

  多线切开技能是硅加工职业、太阳能光伏职业界的标志性改造,它代替了原有的内圆切开设备,所切晶片与内圆切片工艺比较具有弯曲度(BOW)、翘曲度(WARP)小,平行度(TAPER)好,总厚度公役(TTA)离散性小,刃口切开损耗小,外表损害层浅,晶片外表粗糙度小等等许多长处。

  太阳能硅片的线切开机理就是机器导轮在高速工作中带动钢线,然后由钢线将聚乙二醇和碳化硅微粉混合的砂浆送到切开区,在钢线的高速工作中与压在线网上的工件接连发作冲突完结切开的进程。

  在整个切开进程中,对硅片的质量以及成品率起首要效果的是切开液的粘度、碳化硅微粉的粒型及粒度、砂浆的粘度、砂浆的流量、钢线的速度、钢线的张力以及工件的进给速度等。

  一、切开液(PEG)的粘度

  由于在整个切开进程中,碳化硅微粉是悬浮在切开液上而经过钢线进行切开的,所以切开液首要起悬浮和冷却的效果。

  1、切开液的粘度是碳化硅微粉悬浮的重要保证。由于不同的机器开发规划的体系思想不同,因而对砂浆的粘度也不同,即要求切开液的粘度也有不同。例如瑞士线切开机要求切开液的粘度不低于55,而NTC要求22-25,安永则低至18。只要契合机器要求的切开规范的粘度,才能在切开的进程中保证碳化硅微粉的均匀悬浮散布以及砂浆稳定地经过砂浆管道随钢线进入切开区。

  2、由于带着砂浆的钢线在切开硅料的进程中,会由于冲突发作高温,所以切开液的粘度又对冷却起着重要效果。假如粘度不合格,就会导致液的流动性差,不能将温度降下来而形成灼伤片或许呈现断线,因而切开液的粘度又保证了整个进程的温度操控。

  二、碳化硅微粉的粒型及粒度

  太阳能硅片的切开其实是钢线带着碳化硅微粉在切,所以微粉的粒型及粒度是硅片表片的光亮程度和切开才能的要害。激光划片机、粒型规矩,切出来的硅片标明就会光亮度很好;粒度散布均匀,就会进步硅片的切开才能。